Эпитаксиально-планарная технология изготовления полупроводниковых приборов требует высокой стерильности производственной среды. Это связано главным образом с тем, что любые загрязнения, такие как пыль, микрочастицы и даже малейшие органические загрязнители, могут существенно повлиять на характеристики и надежность конечного продукта.
Для обеспечения чистоты используются специальные чистые комнаты, где контролируется количество возможных загрязнителей в воздухе. Согласно различным стандартам, уровни чистоты оцениваются по количеству частиц на единицу объема воздуха, например, согласно стандарту ISO 14644-1.
Кроме того, особое внимание уделяется одежде персонала и оборудованию, которые должны соответствовать строгим гигиеническим требованиям. Используются специальные костюмы и системы фильтрации воздуха. Практики стерильности и контроля загрязнений также актуальны в фармацевтической и медицинской индустриях, что подтверждает общие принципы асептики и дезинфекции, изложенные в стандартах ГОСТ и рекомендациях APSIC.
Таким образом, высокая стерильность в эпитаксиально-планарной технологии является необходимостью для обеспечения стабильности и качества полупроводниковых приборов.
Категория: Материаловедение
Теги: микроэлектроника, полупроводники, очистка помещений